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MPCVD法相比其他等離子cvd法有什么優(yōu)勢?

文字:[大][中][小] 手機(jī)頁面二維碼 2022/5/6     瀏覽次數(shù):    

等離子體協(xié)助CVD有三種類型 :

1)微波等離子體CVD(MPCVD,微波激發(fā)頻率通常為2.45GHz);

2)RF等離子體CVD(通常激發(fā)頻率是13.56MHz);

3)直流等離子體CVD。

相對于其他方法,MPCVD法優(yōu)勢如下 :

1)反應(yīng)器的簡單、靈活和商業(yè)可用 ;

2)微波非等溫等離子體的穩(wěn)定性和可重復(fù)性,允許連續(xù)沉積數(shù)十小時(shí)或數(shù)百小時(shí),并且樣品質(zhì)量可重現(xiàn);

3)高能量效率(高等離子體密度和低鞘電勢),保障合理的成本;

4)具備生長大尺寸金剛石薄膜能力 ;

5)與其他CVD技術(shù)(例 如2000°C 的 HFCVD)相比,沉積溫度相對較低,因此外延層和襯底之間的熱失配和所產(chǎn)生的應(yīng)力較小 。

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